SENS4真空傳感器VPM
瀏覽次數：629 發布于：2023-05-10
VPM-5傳感器提供良好性能，并通過將可用的電導率真空測量儀的可用測量范圍擴展到1-3年來建立了新標準技術，再加上新型的準確數字信號處理架構和創新測量算法。性能特點超寬的測量范圍為9年
通過S4-Connect USB程序員簡化配置
0-10 VDC可編程電壓輸出
數字RS-232或RS485接口
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VPM-5傳感器提供良好性能，并通過將可用的電導率真空測量儀的可用測量范圍擴展到1-3年來建立了新標準技術，再加上新型的準確數字信號處理架構和創新測量算法。
性能特點
- 超寬的測量范圍為9年
- 通過S4-Connect USB程序員簡化配置
- 0-10 VDC可編程電壓輸出
- 數字RS-232或RS485接口
- 穩定Zero漂移補償
- 可選的固態設定點繼電器用于過程控制
技術參數
- 磁滯1×10-3至10 MBAR（ISO19685：2017）：1％
- 滯后10至1333 MBAR（ISO19685：2017）：0.1％
- 模擬輸出分辨率：16位（150 µV）
- 模擬輸出更新率：124 Hz
- 響應時間（ISO 19685：2017）：<20 ms
- 溫度補償：+10至+50°C
- 固態繼電器設定點范圍：5×10-6至1333 MBAR（3.75×10-6至1000 Torr）
- 固態繼電器接觸評級：50 V，100 MARMS / MADC
環境條件:
- 操作環境溫度：-20至+50°C
- 介質溫度：-20至+50°C
- 存儲環境溫度：-40至+120°C
- 烘烤溫度（非操作）：+120°C
- 安裝位置：任意
- 濕度，IEC 68-2-38：98％，無調
電源:
- 電源電壓：12-30 VDC
- 功耗：240 MW（max）
- 反極性保護：是
- 電壓保護：是
- 內部保險絲：100 mA（可回收）
產品應用
- 質譜儀
- 掃描電子顯微鏡
- 爐熱處理
- 玻璃，光學，工具等的PVD涂層
- 制冷服務和制造
- 半導體處理
詳細參數
產品應用
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